9月上旬,工信部选藏印发了《首台紧要时刻装备膨胀诳骗指令目次(2024年版)》国产 自拍偷拍,而这个目次列举了国产光刻机的最新信息,这让让许多东说念主王人极度振作。
这份目次有两款国产光刻机,一款是氟化氪光刻机,另一款是氟化氩光刻机。其中氟化氪光刻机的照明波长为248nm,辩认率≤110nm,因此这是一款比拟低端的光刻机,还不如上海微电子的600系列光刻机。
而另一款氟化氩光刻机就在互联网上掀翻了一股计划之风,因为这款光刻机的照明波长达到193nm,仍是算是DUV式光刻机了。而况这款光刻机的辩认率为65nm,比上海微电子600系列的90nm辩认率更先进。而这款光刻机的的套刻≤8nm,也就说是这款光刻机表面上不错坐褥8nm芯片。
一般情况而言,光刻机的辩认率是若干,那么它即是若干nm的光刻机,因此这款氟化氩光刻机本色上即是65nm的DUV干式光刻机。
只不外氟化氩光刻机的音书公布后,一个奇怪的风景如故出现了,网罗上出现了多半不同辩认率的光刻机计划,比如8nm光刻机、14nm光刻机、28nm光刻机。
七天 探花看到这里,全球是不是感到很奇怪呢?这款氟化氩光刻机到底是若干nm呢?若何一会是8nm,瞬息是14nm,一会是28nm,一会是65nm呢?关于这个问题,我们要从良品率来分析。
一,从良品率来看国产 自拍偷拍,这款氟化氩光刻机弗成能好意思满8nm芯片的量产
对芯片制造有一定了解的网友王人知说念光刻机不错通过屡次曝光后,不错坐褥工艺更先进的芯片。比如台积电曾用ASML的1970i型光刻机坐褥出7nm工艺的芯片,但1970i型光刻机的辩认率远够不上7nm水准。
之是以1970i型光刻机能好意思满7nm芯片的坐褥,这是因为经由屡次曝光才好意思满的。不外这种形势有一个瑕疵,那即是老本十分高,良品率也很拉胯,因此台积电后续坐褥7nm芯片王人是用2000i型及2000i型以后、致使EUV光刻机坐褥。
很显豁,我们的65nm光刻机好意思满8nm芯片坐褥,这内部的曝光老本是一个天文数字,且良品率极低,十足是一个损失交易。因此我们的这款65nmDUV光刻机无法坐褥8nm芯片,算不得8nm光刻机。
二,从现实情况来看,这款65nm的氟化氩光刻机经由曝光不错坐褥14nm芯片,但好意思满大领域量产不现实
全球王人知说念中芯海外仍是不错量产14nm芯片,这成绩于中芯海外从ASML采购的浸润式DUA光刻机。
当今阶段,14nm芯片仍是不错满足我国70%工业发展需求,只好我们领有我方的14nm光刻机,那么我们就不错好意思满14nm芯片的自主化。
而这款65nm氟化氩光刻机照明波长是193nm,在使用浸润式时刻后,经由屡次曝光不错坐褥14nm芯片。若是按照这个圭臬,那么我们的这款65nm氟化氩光刻机是一款14nm光刻机。
诚然了,在浸润式时刻领域,我国半导体厂商和ASML有不小差距,因此这款65nm的氟化氩光刻机念念要大领域量产14nm芯片,这内部的难度较大。
三,客不雅的讲,这款65nm氟化氩光刻机能量产28nm芯片,这仍是十分了不得了
也有科技博主合计这款65nm氟化氩光刻机应该是一款28nm光刻机,关于这个不雅点,我合计也有一定道理道理。
早前上海微电子的600系列光刻机经由屡次曝光也不错坐褥28nm芯片,而28nm芯片是当今我国半导体厂商主要坐褥的芯片。诸如中芯海外就在南京等地诞生了多座28nm晶圆工场,用来坐褥28nm芯片。
而台积电也在内地诞生了 28nm晶圆工场,以此和中芯海外竞争。很显豁,28nm芯片才是我国半导体厂商角逐的“战场”,也就说这款65nm氟化氩光刻机改日的主要概念即是28nm芯片工艺制程。
而65nm光刻机坐褥28nm芯片的坐褥老本较低,良品率也较高,更具有经济性,因此有博主合计这款65nm氟化氩光刻机是28nm光刻机,这亦然颇有道理道理的。
写在临了
国产65nm氟化氩光刻机到底是什么光刻机呢?归来起来即是以下几点。
若是是表面上来看,这即是一款8nm光刻机,但因为经济老本和良品率来看,这款光刻机称之为8nm光刻机有些大言不惭。
若是从当下的时刻来看,这款光刻机即是一款14nm光刻机,但因为产能不够的缘起,这款光刻机就算不上14nm光刻机。
若是阛阓行情和经济效益来看,这款光刻机即是一款28nm光刻机。只不外我国从ASML采购的光刻机不错量产28nm芯片,且经济效益更高,因此称这款光刻机是28nm,这似乎有些未入流。
是以这款65nm氟化氩光刻机是什么工艺的光刻机?这即是一件各执己见智者见智的事情国产 自拍偷拍。那么在全球心目中这款光刻机是若干nm呢?